Конференции, проводимые по тематике КФТИ КазНЦ РАН
13 – 16 ноября 2023 / Вторая объединённая конференция «Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике» (КЭЛТ-23)
МО, г. Черноголовка, ул. Академика Осипьяна д.6 (ИПТМ РАН). Сайт конференции: https://cebt23.iptm.ru/
Стоимость участия: бесплатно.
Ключевые даты:
10 мая — начало регистрации и приёма тезисов.
20 августа — окончание приёма тезисов доклада
Тематика конференции (секции):
- Диагностика полупроводниковых материалов и структур
- Характеризация материалов и структур методами ПЭМ и РЭМ
- Сканирующая зондовая микроскопия и зондовая нанолитография
- Электронно- лучевая и ионная литографии
- Электронно- лучевые технологии в микроэлектронике
- Рентгеновская кристаллооптика
- Многослойная оптика для рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазона
- Применение рентгеновской оптики для исследования микро- и наноструктур
- Рентгеновская микроскопия и томография
- Новые методы исследования микро- и наноструктур с использованием синхротронных и лабораторных источников рентгеновского излучении
Условия участия:
Для участия необходимо зарегистрироваться и прислать тезисы объёмом 1 - 3 стр. в соответствии с шаблоном.
Стоимость участия: бесплатно.
Ключевые даты:
10 мая — начало регистрации и приёма тезисов.
20 августа — окончание приёма тезисов доклада
13-16 ноября — работа конференции.
По итогам конференции будет выпущен сборник тезисов
Контакты Оргкомитета:
E-mail: cebt23@iptm.ru
Казьмирук Лидия Александровна
Тел: +7 (496-52) 44219
Осипова Галина Юрьевна
Тел: +7 (496-52) 44253
Регистрация и загрузка тезисов

